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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-200大行程型線性壓電陶瓷納米定位臺

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大行程型線性壓電陶瓷納米定位臺

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產(chǎn)品型號：NM-200
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品牌PDV/派迪威應(yīng)用領(lǐng)域綜合

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產(chǎn)品描述：

NM-200緊湊型線性納米定位臺，沿Z方向可提供200μm行程的運(yùn)動。其緊湊的設(shè)計使其成為許多光子學(xué)和光纖定位應(yīng)用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動的線性位移臺，由于固態(tài)彎曲和平行結(jié)構(gòu)，這些壓電平臺可以在X和Z方向上移動而沒有任何機(jī)械間隙。它們可提供比機(jī)械或機(jī)電系統(tǒng)更高的分辨率。

NM-200系列位移臺可以輕松地與XY和壓電偏轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)合使用，以提供所有自由度的定位。閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運(yùn)動，還可以補(bǔ)償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運(yùn)行。
NM-200非常適用于小部件例如反射鏡和激光二極管）的納米級精確定位，特別是在需要長期穩(wěn)定性的應(yīng)用中。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號NM-200NM-200S公差
運(yùn)動軸ZZ——
集成傳感器——SGS——
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)200μm200μm±10%
最大行程范圍(@-20~+150V)240μm240μm±20%
分辨率1.8nm3.6nmtyp.
最小移動步長7.0nm7.0nmtyp.
線性誤cha——0.02%~0.05%typ.
重復(fù)定位精度(全行程)——0.05%typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))10μrad10μradtyp.
承載能力5N5NMax.
諧振頻率(0g)420Hz420 Hz±20%
運(yùn)動方向剛度0.5N/μm0.5N/μm±20%
運(yùn)動方向推力/拉力30N/10N30N /10N±20%
驅(qū)動機(jī)構(gòu)壓電陶瓷壓電陶瓷——
工作溫度范圍-20~+80℃-20~+80 °℃typ.
線纜長度1.5m1.5 m±10mm
中空尺寸——————
外形尺寸(長×寬×高)54×54×25mm54×54×25mm——
重量95g95g±5%
PZT&Sensor連接器LEMOLEMO——
本體材質(zhì)鋼、鋁鋼、鋁——
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-"表示為不適用。
1.尾綴“-S"為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0..+120V，更大行程請咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測量和指定
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應(yīng)的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負(fù)載請咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會對柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。

產(chǎn)品尺寸：

大行程型線性壓電陶瓷納米定位臺


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