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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-080Z 軸高精度、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺

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Z 軸高精度、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺

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產(chǎn)品型號：NM-080
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產(chǎn)品描述：
NM-080緊湊型線性納米定位臺，沿Z方向可提供100μm或更大行程的運(yùn)動。
其緊湊的設(shè)計(jì)使其成為許多光子學(xué)和光纖定位應(yīng)用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動的線性位移臺。
該系列納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動元件，利用有限元優(yōu)化的集成態(tài)撓性導(dǎo)向系統(tǒng)可確保好的平行運(yùn)動。由于采用了無摩擦柔性機(jī)構(gòu)，壓電位移臺無需維護(hù)，無磨損，并具有快速響應(yīng)和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補(bǔ)償，跟蹤，快速步進(jìn)或連續(xù)掃描。閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運(yùn)動，還可以補(bǔ)償壓
電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計(jì)。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運(yùn)行。
壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實(shí)現(xiàn)的。若要安裝到具有標(biāo)準(zhǔn)柵格的光學(xué)平臺或其他組件上，請使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中，應(yīng)避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側(cè)向力，這些外力可能會損壞位移臺。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號NM-080NM-080S公差
運(yùn)動軸ZZ——
集成傳感器——SGS——
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)80μm80μm±5%
最大行程范圍(@-20~+150V)110μm110μm±20%
分辨率0.8nm1.6nmtyp.
最小移動步長3.0nm3.0 nmtyp.
線性誤cha——0.02%~0.05%typ.
重復(fù)定位精度(全行程)——0.02%typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))5μrad5μradtyp.
承載能力8N8NMax.
諧振頻率(0g)300Hz300 Hz±20%
運(yùn)動方向剛度0.3N/μm0.5N/μm±20%
運(yùn)動方向推力/拉力30N/10N30N /10N±20%
驅(qū)動機(jī)構(gòu)壓電陶瓷壓電陶瓷——
工作溫度范圍-20~+80℃-20~+80 °℃typ.
線纜長度1.5m1.5 m±10mm
中空尺寸——————
外形尺寸(長×寬×高)40×40×22mm40×40×22mm——
重量100g100g±5%
PZT&Sensor連接器LEMOLEMO——
本體材質(zhì)鋼、鋁鋼、鋁——


注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-"表示為不適用。
1.尾綴“-S"為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0.+120V，更大行程請咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應(yīng)的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負(fù)載請咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會對柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實(shí)際的測量數(shù)據(jù)值。

產(chǎn)品尺寸：

Z 軸高精度、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺




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