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Z 軸小體積納米位移臺壓電陶瓷納米臺

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產(chǎn)品型號：NM-005 NM-010

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品牌	PDV/派迪威	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

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產(chǎn)品描述：

NM-005為Z向直驅(qū)壓電平移臺，采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)的設(shè)計原理，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。

底部平臺固定安裝孔可選擇M3螺紋孔，便于用戶方便安裝，訂購時需要指出。默認(rèn)版本的平臺固定孔為直徑2.2 通孔。

形行程范圍為5μm（閉環(huán)）。

NM-010為Z向直驅(qū)壓電平移臺，采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)的設(shè)計原理，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。

壓電位移臺可提供SGS傳感器反饋或無反饋（開環(huán)）。

對于需要緊湊的尺寸，高動態(tài)性和亞納米級的定位分辨率，但又不需要絕對的定位精度和可重復(fù)性的應(yīng)用，開環(huán)提供了一種經(jīng)濟(jì)高效的選擇。在通過外部反饋源（干涉儀，視覺系統(tǒng)，光電探測器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開環(huán)設(shè)計版本。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	NM-005	NM-005S	NM-010	NM-010S	公差
運動軸	Z	Z	Z	Z	——
集成傳感器	——	SGS	——	SGS	——
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)	5μm	5 μm	10μm	10μm	±5%
最大行程范圍(@-20~+150V)	7μm	7μm	12μm	12μm	±20%
分辨率	0.05nm	0.1nm	0.1nm	0.2nm	typ.
最小移動步長	3.0nm	3.0 nm	0.4nm	0.4 nm	typ.
線性誤cha	——	0.2%	——	0.2%	typ.
重復(fù)定位精度(全行程)	——	0.1%	——	0.2%	typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))	5μrad	5μrad	5μrad	5μrad	typ.
承載能力	8N	8N	8N	8N	Max.
諧振頻率(0g)	2500Hz	2500 Hz	2300Hz	2300 Hz	±20%
運動方向剛度	2N/μm	2 N/μm	2N/μm	2 N/μm	±20%
運動方向推力/拉力	12N/2N	12N /2N	12N/2N	12N /2N	±20%
驅(qū)動機(jī)構(gòu)	壓電陶瓷	壓電陶瓷	壓電陶瓷	壓電陶瓷	——
工作溫度范圍	-20~+80℃	-20~+80 °℃	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
線纜長度	1.5m	1.5 m	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——	——	——
外形尺寸(長×寬×高)	30×30×24mm	30×30×24mm	30×30×29.2mm	30×30×29.2mm	——
重量	70g	70g	80g	80g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	——
本體材質(zhì)	鋁	鋁	鋁	鋁	——